一种激光测量干涉仪的研究

近年来,激光测量干涉技术的研究受到越来越多的重视,特别是随着现代工程技术的飞速发展,高精度的低频微小振动测量已经成为目前工业和科学发展中迫切需要解决的问题。在综合考虑了众多高精度测量方法的基础上,本文提出了一种用于激光测量干涉技术的改进型迈克耳逊激光干涉仪。