STD总线在陶瓷敏感元件烧结工艺中的应用

STD bus computer controlled sintering ceramic sensible elements

配方及烧结是氧化物半导体陶瓷敏感元件的核心工艺,用STD总线式计算机控制陶瓷烧结工艺过程,可以提高开发新产品的手段和稳定产品质量。在硬件设计上,采用光电隔离、低通滤波和高稳定性的工业控制计算机等;在软件设计上,采用热量预估,Dahlin's控制算法等,为了提高系统的稳定性,还采用对数据自动修复、程序自恢复等设计方法。

STD bus computer would be used to control sintering ceramic sensible elements.To control analysis,we budget heat quantity and use Dahlin algorithm.To increase control system's steady ability and reliability,we keep the scene data and program to return to normal.