多晶硅生产装置用屏蔽泵常见故障分析

屏蔽泵作为无泄漏泵,输送氯硅烷等易燃易爆及有毒介质,被广泛应用于多晶硅生产装置中,在充分发挥其优势的同时,也会由于各种因素导致设备发生故障。本文主要以屏蔽泵在多晶硅生产装置实际使用过程中调试期间发生故障为例,对几种常见故障进行原因分析,并给出处理方案。