一种湿法处理振动搅拌装置的设计

根据市场现有半导体制造过程中同类湿法处理振动搅拌装置的使用背景,提出设计要求,研制了一种新的湿法处理振动搅拌装置;并详细介绍了装置的工作原理及其结构。经过实验和使用证明,该装置性能优越,能满足半导体生产厂家对湿法处理搅拌的要求,同时具有振动平稳、噪声小、安装维护方便、防腐性好、制造成本低等特点。