微压气体活塞式压力计的性能研究

Furness Controls公司生产FRS5型微压气体活塞式压力计是低真空范围准确度非常高又可以很方便操作的真空校准系统。本文对FRS5微压活塞的工作原理、特性以及所做的一些实验工作进行了详细的介绍,并对其不确定度进行了评定。