摘要
提高电磁流量计衬里和电极的加工粗糙度水平,从本质上降低流体噪声产生的几率和幅度,从而提高流量计测量的灵敏度和稳定性。本文从传感器衬里和电极粗糙度引起电磁流量计动态零点的流体噪声分类、产生,引导出能够降低流体噪声提高信噪比的重要措施,并介绍电磁流量计传感器制造中一些关键工艺措施。
提高电磁流量计衬里和电极的加工粗糙度水平,从本质上降低流体噪声产生的几率和幅度,从而提高流量计测量的灵敏度和稳定性。本文从传感器衬里和电极粗糙度引起电磁流量计动态零点的流体噪声分类、产生,引导出能够降低流体噪声提高信噪比的重要措施,并介绍电磁流量计传感器制造中一些关键工艺措施。
出处
《中国仪器仪表》
2012年第S1期28-32,共5页
China Instrumentation
关键词
流体噪声
极化电压
电极钝化膜
Fluid noise Polarization voltage Electrode passivation film