一种三氯氢硅、四氯化硅和二氯二氢硅的精馏方法及其装置

本发明提供了一种三氯氢硅、四氯化硅和二氯二氢硅的精馏方法:包括:a)将含有三氯氢硅、四氯化硅和二氯二氢硅以及杂质的原料液通入第一精馏塔中进行精馏,从所述原料液中分离出四氯化硅以及第一部分杂质,b)将所述第一精馏塔的塔顶馏分通入第二精馏塔中进行精馏。