磁流变抛光近零亚表面损伤工艺研究

Research on Removing Subsurface Damage by Using Magnetorheological Finishing Technology

实验表明磁流变抛光以其独特的剪切去除机理可用于光学元件亚表面损伤的去除,并且自身不产生新的划痕,同时还可提升光学元件的表面质量,可作为高效加工无损光学元件的一种工艺。