摘要
针对光学非球面的高精度检测问题,研究了轮廓拼接技术在超精密导轨直线度误差的分离与补偿,大型非球面镜测量过程中传感器量程的扩展,以及高陡度保形光学非球面面形检测三个方面的应用。试验表明:利用轮廓拼接方法能够高精度的重构出面形轮廓,扩展系统的测量能力,方法简单,实用。
针对光学非球面的高精度检测问题,研究了轮廓拼接技术在超精密导轨直线度误差的分离与补偿,大型非球面镜测量过程中传感器量程的扩展,以及高陡度保形光学非球面面形检测三个方面的应用。试验表明:利用轮廓拼接方法能够高精度的重构出面形轮廓,扩展系统的测量能力,方法简单,实用。
出处
《航空精密制造技术》
2010年第3期12-17,共6页
Aviation Precision Manufacturing Technology
基金
自然科学基金重点项目(NO.50535020)
关键词
坐标测量
轮廓拼接
轮廓测量
保形光学
coordinate measurement
profile matching
profile measurement
conformal optics