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轮廓拼接在光学非球面超精密坐标测量中的应用 被引量:1

Application of Profile Matching Method in Ultra-precise Coordinate Measurement of Optical Aspherics
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摘要 针对光学非球面的高精度检测问题,研究了轮廓拼接技术在超精密导轨直线度误差的分离与补偿,大型非球面镜测量过程中传感器量程的扩展,以及高陡度保形光学非球面面形检测三个方面的应用。试验表明:利用轮廓拼接方法能够高精度的重构出面形轮廓,扩展系统的测量能力,方法简单,实用。 针对光学非球面的高精度检测问题,研究了轮廓拼接技术在超精密导轨直线度误差的分离与补偿,大型非球面镜测量过程中传感器量程的扩展,以及高陡度保形光学非球面面形检测三个方面的应用。试验表明:利用轮廓拼接方法能够高精度的重构出面形轮廓,扩展系统的测量能力,方法简单,实用。
出处 《航空精密制造技术》 2010年第3期12-17,共6页 Aviation Precision Manufacturing Technology
基金 自然科学基金重点项目(NO.50535020)
关键词 坐标测量 轮廓拼接 轮廓测量 保形光学 coordinate measurement profile matching profile measurement conformal optics
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参考文献2

二级参考文献16

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共引文献9

同被引文献7

引证文献1

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