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Shadow Effect and Its Revisal in Grid-Enhanced Plasma Source with Ion Implantation Method 被引量:1

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出处 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2004年第6期1114-1116,共3页 中国物理快报(英文版)
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参考文献12

  • 1Chen J, BLanchard J, Conrad J R aad Dodd R A 1992 Surf.Coat. Technol 53 267.
  • 2Mantle J V, Brown I G, Cheung N W and Collins G A 1996 MRS Bull. 21 52.
  • 3Ensinger W 1996 Rev, Sci. Instram, 67 318.
  • 4Demokan O 2000 IEEE Trans,Plasma Sci,28 1720.
  • 5Shinji S 1998 Thin Solid Films 316 165.
  • 6Sugimoto S,Uchikawa Y,Kuwahara K and Kuwahara H 1999 Japan,J,Appl.Phys.38 4342.
  • 7Sun M,Liu C Z and Yang S Z 1996 J,Vac.Sci.Technol A 14 367.
  • 8Liu B,Zhang G L and Yang S Z 2001 J.Vac.Sci.Technol.A 19 295.
  • 9Zhang G L,Wang J L and Yang S Z 2003 Acta Phys.Sin 52 2213(in Chinese).
  • 10Davis C A 1993 Thin Solid Films 226 30.

同被引文献5

引证文献1

二级引证文献1

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