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摘要欧洲和日本投巨资豪赌超紫外光刻技术欧洲和日本政府不惜投入巨资,开发超紫外光刻(EUV)系统。’巾.集成电路C抽阴’血甲。刚C吮浦业界要闻参加国际EUV光刻论坛的代表宣称。

出处《中国集成电路》 2002年第11期26-32,共7页 China lntegrated Circuit

关键词解决方案集成电路半导体可编程逻辑收发器器件低成本可编程系统芯片高性能美元

分类号 F416.6 [经济管理—产业经济]

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中国集成电路

2002年第11期

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