亚50nm新型半导体器件研究——973项目“系统芯片中新器件新工艺基础研究”主要进展

微电子产业的发展一直是波浪式前进的,2000年和2001年的全球微电子产业正好处于低谷,即使如此,从微电子技术发展方面来讲,微电子却进入了一个快速发展的阶段。目前,0.13微米集成电路制造工艺已经开始进入工业化大规模生产。自1999年以来。