器件对硅材料的主要质量要求

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摘要随着集成电路按照摩尔定律(每隔18个月,器件所包含的元件数翻一番,特征尺寸缩小三分之一)的飞速发展,器件对硅材料提出了更高的质量要求。集成电路已经进入亚微米或深亚微米时代。

作者陈康民

机构地区上海贝岭股份有限公司

出处《中国集成电路》 2002年第11期92-93,共2页 China lntegrated Circuit

关键词硅材料质量要求集成电路深亚微米器件平整度合格率特征尺寸硅抛光片材料缺陷深亚微米工艺

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中国集成电路

2002年第11期

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