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日本探索微型化晶圆加工线模式
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摘要
目前的半导体产业,一方面需要应对严重的经济衰退造成的影响,一方面还需要针对市场变化速度加快采取对策。现在,不仅是器件制造商感受到了这种压力,专用设备与工具供应商也一样感同身受。他们认为。
作者
王正华
出处
《中国集成电路》
2002年第9期1-5,共5页
China lntegrated Circuit
关键词
微型化
加工线
线模式
晶圆
微型加工
规模化
器件制造
工具
反应室
东芝公司
分类号
TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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中国集成电路
2002年 第9期
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