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日本探索微型化晶圆加工线模式

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摘要 目前的半导体产业,一方面需要应对严重的经济衰退造成的影响,一方面还需要针对市场变化速度加快采取对策。现在,不仅是器件制造商感受到了这种压力,专用设备与工具供应商也一样感同身受。他们认为。
作者 王正华
出处 《中国集成电路》 2002年第9期1-5,共5页 China lntegrated Circuit
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