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清华大学微电子学研究所
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摘要
一、概述清华大学微电子学研究所于1980年9月由中国国家教育部批准建立,其前身是无线电电子学系1956年创办的半导体教研组。步入快速发展阶段的微电子学研究所地处北京西郊风景优美的颐和园、圆明园附近,历史悠久的清华大学校园内,全所现有建筑面积约10000平方米。
出处
《中国集成电路》
2002年第9期110-110,共1页
China lntegrated Circuit
关键词
微电子学
清华大学
研究所
历史悠久
国家教育部
无线电电子学
研究开发
发展阶段
微加工
建筑面积
分类号
TN40-2 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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中国集成电路
2002年 第9期
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