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90nm器件将在2004年生产
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摘要
在美国半导体工业发展蓝图的积极引导下,预计2004年底(甚至也可能在2003年)将生产半节距为90nm的DRAM及栅长为37nm的微处理器等高性能器件。但是这种加速所付出的代价是减少了各代器件之间验证新材料、新工艺、新产品的可靠性所需要的时间。其后果之一是:与较长的研究开发周期情况相比。
作者
Laura peters
卢文豪
出处
《中国集成电路》
2002年第7期94-101,共8页
China lntegrated Circuit
关键词
电介质
发展蓝图
器件
晶体管
抗蚀剂
光刻工艺
微处理器
封装可靠性
阻挡层
掩蔽层
分类号
F416.63 [经济管理—产业经济]
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中国集成电路
2002年 第7期
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