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90nm器件将在2004年生产

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摘要 在美国半导体工业发展蓝图的积极引导下,预计2004年底(甚至也可能在2003年)将生产半节距为90nm的DRAM及栅长为37nm的微处理器等高性能器件。但是这种加速所付出的代价是减少了各代器件之间验证新材料、新工艺、新产品的可靠性所需要的时间。其后果之一是:与较长的研究开发周期情况相比。
出处 《中国集成电路》 2002年第7期94-101,共8页 China lntegrated Circuit
  • 相关文献

参考文献2

  • 1A. Hand.Commercializing NGL: The Push Forward[]..2001
  • 2L. Peters.Trends Take Shape for High-k/Metal Gate Transistors[]..2001

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