发展中的中国半导体设备工业

基本情况 1.研制单位近年来,半导体设备领域人气较旺,目前涉足半导体设备研究和制造的单位恢复到约40个,其中主要单位十几家。大部分单位从事前工序设备的研制,而后工序设备、材料制备设备、净化设备、试验设备。