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硅基微传声器的研究进展 被引量:1

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摘要 基于MEMS技术的硅基微传声器的出现是现代声学器件的又一次革命。本文介绍了微传声器的发展现状,并对流行的电容式微传声器的原理进行了简要分析。清华大学微电子所研制的微传声器在结构上具有创新,制作工艺与标准IC电路兼容,多项指标已位于国际先进水平。
出处 《中国集成电路》 2002年第4期40-43,共4页 China lntegrated Circuit
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引证文献1

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