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中国特色的半导体快速热处理技术——高频感应石墨加热技术介绍
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摘要
快速热处理是半导体工艺生产线中必不可少的一个重要环节,对产品的指标和成品率有着至关重要的影响。灯光辐射型加热源目前世界上常见的半导体快速退火设备,基本上采用的是灯光辐射型热源。
作者
章谦
机构地区
北京华兴微电子有限公司
出处
《中国集成电路》
2002年第10期77-78,共2页
China lntegrated Circuit
关键词
高频感应
半导体工艺
快速退火
中国特色
石墨
快速热处理
辐射型
重要环节
加热方式
加热源
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
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刘智雅.
2008年10月~2009年3月颁布的部分电气与电子类IEC标准[J]
.电子产品可靠性与环境试验,2009,27(3):61-65.
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王旗,陈振,浦树德,杨晴初.
国外硅单晶质量研究进展(续Ⅱ)[J]
.半导体光电,1997,18(1):12-13.
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钱佩信,侯东彦,林惠旺,徐立.
超大规模集成电路快速热处理技术[J]
.电子学报,1992,20(11):1-11.
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高峰,高惠萍.
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沃连恩.
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.电子工艺简讯,1996(4):6-7.
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魏继昆,谭蓉,潘琦英,蒋湘云.
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.电焊机,2007,37(4):1-9.
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闫建华,欧文,欧毅.
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中国集成电路
2002年 第10期
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