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中国特色的半导体快速热处理技术——高频感应石墨加热技术介绍

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摘要 快速热处理是半导体工艺生产线中必不可少的一个重要环节,对产品的指标和成品率有着至关重要的影响。灯光辐射型加热源目前世界上常见的半导体快速退火设备,基本上采用的是灯光辐射型热源。
作者 章谦
出处 《中国集成电路》 2002年第10期77-78,共2页 China lntegrated Circuit
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