MEMS元件在电子信息产品和消费类产品中的应用趋势

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摘要作为新世纪一项最伟大的技术,硅微电子机械系统(MEMS)技术最终证明了其多用性已超乎了大多数人的想象,超出了在多元化市场发挥各种作用的简单的传感器。无论是现有的还是开发中的MEMS器件都瞄准了电信、汽车、计算机外设和消费品市场的各种新兴应用。在很多场合,它们不仅会取代非MEMS元件,促进新产品的开发,而且还会与微电子芯片珠联璧合,创建出新的"智能"子系统。

作者 Benedetto Vigna

机构地区意法半导体公司

出处《中国集成电路》 2002年第1期55-59,共5页 China lntegrated Circuit

关键词传感器加速计器件活动元件计算机外设技术电阻加热元件硅片汽车磁盘驱动器

分类号 TP211.4 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]

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