ECR刻蚀设备微机控制系统硬件设计

ECR刻蚀设备是利用电子在微波和磁场中的回旋共振效应,在真空条件下形成高密度、高活性的等离子体,进行低温刻蚀的设备。我所研制的ECR刻蚀设备采用了微机/手动控制方式。本文主要介绍了该控制系统硬件电路的实现方法。