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薄膜光学理论与膜系设计

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摘要 O484.1 2002010455用 FEA 场发射微尖表面的硅化物薄膜=Silicide filmson surface of FEA’s emission tips[刊,中]/季旭东(华东电子管厂.江苏,南京(210028))∥光电子技术.—2000,20(2).—111-115一些硅的化合物具有良好的场发射特性,对这一类硅化物的制作、测量与性能作了说明。
出处 《中国光学》 EI CAS 2002年第1期63-68,共6页 Chinese Optics
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