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微细加工技术与设备

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摘要 TN305 2002010716场致发射阵列制作工艺的研究=Study of fabricationprocessing of field emitter arrays[刊,中]/周洪军,尉伟,洪义麟,徐向东,陶晓明,霍同林,付绍军,裴元吉(中国科技大学国家同步辐射实验室.安徽,合肥(230026)),Chu Jiaru(Surface and Interface Division Department
出处 《中国光学》 EI CAS 2002年第1期99-102,共4页 Chinese Optics
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