摘要
TN241 2002031768HfC<sub>2</sub>/SiO<sub>2</sub>高反射膜的缺陷及其激光损伤=Relationbetween laser damage and defects of HfO<sub>2</sub>/SiO<sub>2</sub>HR coatings[刊,中]/胡建平,陈梅,付雄鹰,柴林（成都精密光学工程研究中心.四川,成都（610041））//强激光与粒子束.-2001,13（5）.-529-532用原子力,Normaski和扫描电子显微镜等分析仪器,对高损伤阈值薄膜常采用的HfO<sub>2</sub>/SiO<sub>2</sub>薄膜进行了表面显微图像研究,分析了薄膜常见的表面缺陷,如节瘤,孔洞的划痕等。薄膜表面缺陷的激光损伤实验表明,不同缺陷的抗激光损伤能力大不相同。
出处
《中国光学》
EI
CAS
2002年第3期24-24,共1页
Chinese Optics
