摘要
TN141.5 2002032157等离子体显示器件中氧化镁膜的制备和测试=Depositionand testing of MgO thin films for plasma displaypanels[刊,中]/赵来,查良镇(清华大学电子工程系.北京(100084)),范垂祯,许生(深圳豪威真空光电子股份有限公司.广东,深圳(518057))//真空.-2001,(5).-7-11结合等离子显示器(PDP)的发展,综述了近年来MgO膜层镀制与测试工艺的进展,讨论了PDP对保护膜性能的要求。PDP市场的进一步扩大需要在生产上建立一个能取得共识的对MgO膜层性能进行评价的标准。图7参11(李瑞琴)
出处
《中国光学》
EI
CAS
2002年第3期77-78,共2页
Chinese Optics