摘要
TB92 2002032253基于线阵CCD阵列的在线检测方法=New 3D surfacemeasurement online based on linear CCD arrays[刊,中]/周鸿,赵宏(西安交通大学机械学院激光与红外应用所.陕西,西安(710049))//半导体技术.-2001,26(11).-1-4利用矩形光栅离焦投影,产生正弦光场,通过三个严格排列的线阵CCD阵列对物体三维轮廓进行扫描采样测量,一次扫描就可以获得三幅相位图。重点讨论了该方法的原理和特点,并给出试验简图及实际测量结果。图8(李瑞琴)
出处
《中国光学》
EI
CAS
2002年第3期90-93,共4页
Chinese Optics
