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光电集成与器件

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摘要 TN256 2002042749SOI 集成光电子器件=SOI - based optoelectronicdevices[刊,中]/魏红振,余金中,张小峰(中科院半导体所集成光电子国家重点实验室.北京(100083)),刘忠立(中科院半导体所微电子中心.北京(100083)),史伟,

出处《中国光学》 EI CAS 2002年第4期50-50,共1页 Chinese Optics

关键词半导体光电子器件国家重点实验室光开关中科院光电集成硅基二氧化硅光波导器件光谱宽度光电子技术微电子

分类号 TN256 [电子电信—物理电子学]

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中国光学

2002年第4期

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