摘要
O484.5//TN304.055 2002042890常规与纳米金刚石薄膜介电性能的比较=Comparisonof dielectric properties between conventional andnanocrystalline diamond films[刊,中]/奚正蕾,莘海维,张志明,凌行,沈荷生,戴永兵,万永中,陆鸣(上海交通大学微电子技术研究所.上海(200030))∥微细加工技术.—2001,(4).
出处
《中国光学》
EI
CAS
2002年第4期68-69,共2页
Chinese Optics
