非光学量测试与设备

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摘要 TB92 2002053852移相式轮廓测量法相移误差的计算机模拟校正=Calibrationalgorithm of phase-shifting with the helpof computer emulator in phase-measuring profilometry[刊,中]/司书春,王蕴珊,徐建强(山东大学物理与微电子学院.山东,济南(250061))

出处《中国光学》 EI CAS 2002年第5期89-92,共4页 Chinese Optics

关键词光电子激光轮廓测量相移误差测量精度计算机模拟投影光栅三维轮廓术测量结果信息技术科学

分类号 O435 [机械工程—光学工程]

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