摘要
适用于半导体材料的题述组合物含有水解产物和有机溶剂R<sup>9</sup>O（CHCH<sub>3</sub>CH<sub>2</sub>O）<sub>g</sub> R<sup>10</sup>(R<sup>9</sup>、R<sup>10</sup>=H,C<sub>1～4</sub>烷基,CH<sub>3</sub>CO;g=1～2)。水解产物是由（A<sup>1</sup>）HSi（OR<sup>1</sup>）<sup>3</sup>（R<sup>1</sup>=烃基）和（A<sup>2</sup>）R<sub>a</sub><sup>2</sup>Si（OR<sup>3</sup>）<sub>4-a</sub>（R<sup>2</sup>=F或烃基;R<sup>3</sup>=烃基;a=1～2）和/或R<sub>b</sub><sup>4</sup>（OR<sup>5</sup>）（3-b）SiR<sub>d</sub><sub>8</sub>Si（OR<sup>6</sup>）<sub>3-c</sub>R<sub>c</sub><sup>7</sup>[R<sup>4</sup>～R<sup>7</sup>
出处
《涂料技术与文摘》
2002年第4期60-60,共1页
Coatings Technology & Abstracts
