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HARDWARE DEMODULATION METHOD FOR &D EDGEDETEOTION AND ERROR OOMPENSATION

采用硬件解调法的边缘轮廓检测及其误差补偿(英)
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摘要 A hardwale demodulation method for 2-D edge detection is proposed. The filtering step and the differential step are implemented by using the hardware circuit. This demodulation circuit simplifies the edgefinder and reduces the measuring cycle. The calibration method of scale setting is also presented,and bymeasuring some calibrated objects,the demodulation errors and the error correction table is obtained. 提出一种基于硬件解调的二维轮廓检测方法.滤波环节和微分环节由硬件电路实现,使测量分辨力达到亚像素级.该方法使边缘轮廓的检测更为简单,且提高了测量速度.还给出了这种测量的正确标定方式.通过实验找出该方法所存在的解调误差和误差修正表,经误差补偿,边缘轮廓的测量精度达到2μm(3б).
出处 《Transactions of Tianjin University》 EI CAS 1999年第1期52-56,共5页 天津大学学报(英文版)
关键词 edge detection hardware demodulation demodulation error COMPENSATION 边缘检测 硬件解调 解调误差 补偿
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