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微型电子机械系统

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摘要在微小尺寸范围内,将机械可划分为1～10mm的小型机械,1μm～1mm的微型机械,以及1nm～1μm的纳米机械。所谓微型电子机械系统(Micro Electro Mechanical System,MEMS),从广义上包含小型、微型和纳米机械,但并非机械的单纯微小化,它集微型机械、

出处《国际学术动态》 1999年第3期77-77,共1页 International Academic Developments

关键词微型电子机械系统微型机械纳米机械尺寸范围小型机械微型化机械工程微小划分广义

分类号 TH703 [机械工程—精密仪器及机械]

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