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微型电子机械系统
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摘要
在微小尺寸范围内,将机械可划分为1~10mm的小型机械,1μm~1mm的微型机械,以及1nm~1μm的纳米机械。所谓微型电子机械系统(Micro Electro Mechanical System,MEMS),从广义上包含小型、微型和纳米机械,但并非机械的单纯微小化,它集微型机械、
出处
《国际学术动态》
1999年第3期77-77,共1页
International Academic Developments
关键词
微型电子机械系统
微型机械
纳米机械
尺寸范围
小型机械
微型化
机械工程
微小
划分
广义
分类号
TH703 [机械工程—精密仪器及机械]
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国际学术动态
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