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分子束外延ZnS_(1-x)Te_x单晶薄膜特性分析

Property analysis of MBE-grown ZnS 1- x Te x thin films
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摘要 通过精确的测量发现,分子束外延( M B E) 生长的Ⅱ- Ⅵ族三元合金碲硫锌( Zn S1 - x Te x)(0 ≤x ≤1) 半导体单晶薄膜中 Zn 和 Te 修正的俄歇参数α′随 x 增大近似线性增加,且前者大于后者;同时还发现 Te 4d3/2 和 Te 4d5/2 光电子谱峰间距随 x The modified Auger parameter (α′)of Zn and Te in ZnS 1- x Te x (0≤ x ≤1) single-crystal alloy thin films grown by MBE is measured with high resolution.It is shown that α′increases almost linearly with x and that the variations of α′Z n are larger than those of α′ Te .Furthermore,it is similar for the variation of XPS peaks of Te 4d 3/2 and Te 4d 5/2 with x .
作者 孙汪典
机构地区 暨南大学
出处 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 1999年第2期104-107,共4页 Semiconductor Optoelectronics
关键词 半导体材料 薄膜 ZnS1-xTex X射线光电子谱(XPS) 俄歇参数 Semiconductor Materials,Thin Films,ZnS 1- x Te x , XPS, Auger Parameter,
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