摘要
从基本工作原理着手阐述了光激、光拾硅微机械谐振式传感器，评述了近年来在光激、光拾方式下工作的硅微机械谐振式压力、温度传感器的进展，并就该领域未来的发展作了展望。
Optically excited and picked micromachined silicon resonant sensors are introduced based on the basic principle.Recent progress in pressure and temperature sensors and the future trend in this field are also discussed.
出处
《半导体光电》
CAS
CSCD
北大核心
1999年第1期7-10,共4页
Semiconductor Optoelectronics
基金
国家自然科学基金
关键词
硅微机械
谐振传感器
光激励
光拾取
Silicon Micromachine,Resonant Sensor,Optical Excitation,Optical interrogation
