摘要
利用钨丝掩膜质子轰击工艺制造出一种室温条件下可连续工作的可见光垂直腔面发射激光器。激射波长为650nm,未装在热沉上时连续工作最大输出功率为85μW。
CW visible vertical cavity surface emitting laser(VCSEL) operated at room temperature is fabricated by four time proton bombardment technology using tungsten wires as a mask.The laser wavelength is 650 nm, and the maximum output without heat-sink is 85 μW at CW operation.
出处
《半导体光电》
CAS
CSCD
北大核心
1999年第1期31-33,共3页
Semiconductor Optoelectronics
基金
国家自然科学基金