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辊轮涂覆液态光致抗蚀剂的应用与实践
被引量:
2
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摘要
本文简要对比了液态光致抗蚀剂几种工艺的基本特点,着重介绍了辊轮涂覆在我司的应用与实践。
作者
胡永栓
机构地区
珠海多层电路板有限公司
出处
《印制电路信息》
1999年第5期24-26,共3页
Printed Circuit Information
关键词
液态光致抗蚀剂
辊轮涂覆
分类号
TN41 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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印制电路信息
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