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YMnO_3铁电薄膜
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摘要
金属铁电半导体场效应晶体管能够用于永久性随机存取存储器,因而铁电薄膜越来越引起人们的兴趣。日本大阪大学的T.Yoshimura等最近报道,在Si衬底上沉积的YMnO<sub>3</sub>铁电薄膜具有滞后效应、电容—电压性质及铁电极化开关特性,当降低存储单元尺寸时,能够节省电源。
作者
邱巨峰
出处
《稀土信息》
1999年第2期16-16,共1页
Rare Earth Information
关键词
铁电薄膜
半导体场效应晶体管
随机存取存储器
SI衬底
电开关特性
滞后效应
硅衬底
介电性能
铂电极
介电损耗系数
分类号
TB43 [一般工业技术]
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稀土信息
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