光学镀膜与装置

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摘要 O484.1 99010388等离子体增强热丝CVD法生长cBN薄膜中的衬底效应=Substrate effects in the formation of c—BNsynthesis by plasma assisted hot—filamentchemical vapour deposition[刊,中]/陈光华,严辉(北京工业大学应用物理系.北京(100022)),张兴旺。

出处《中国光学》 EI CAS 1999年第1期61-62,共2页 Chinese Optics

关键词异质外延金刚石膜人工晶体等离子体增强超硬材料薄膜沉积应用物理国家重点实验室吉林大学薄膜生长核化密度

分类号 O484.1 [理学—固体物理]

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