像差、像质评价

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摘要 O435.2 99063528光刻镜头像质测试方法=A testing method for im-age quality of photolithographic lens[刊,中]/周明宝,杜春雷,林大键,郭勇(中科院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室.四川,成都(610209))∥光电工程.—1998,25(1).

出处《中国光学》 EI CAS 1999年第6期5-5,共1页 Chinese Optics

关键词光刻镜头像差微细加工光学技术测试方法国家重点实验室深紫外光平行光路光斑位置技术研究所畸变

分类号 TN305.7 [电子电信—物理电子学]

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1冯伯儒.微细加工光学技术国家重点实验室[J].光的世界,1993,11(5):19-21.
2微细加工技术与设备[J].中国光学,2000(4):102-103.
3姚汉民,冯伯儒.微细加工光学技术的发展[J].世界科技研究与发展,1997,19(1):72-73.
4微细加工技术与设备[J].中国光学,2004(1):97-98.
5周明宝,杜春雷,林大键,郭勇.光刻镜头象质测试方法[J].光电工程,1998,25(1):39-44.
6邬纪泽.“微细加工光学技术”国家开放实验室的展望[J].LSI制造与测试,1990,11(3):42-46.
7微细加工技术与设备[J].中国光学,2002(2):101-102.
8微细加工技术与设备[J].中国光学,2002(5):104-105.
9融合时代[J].通信世界,2014(4):6-7.
10微细加工技术与设备[J].中国光学,2001(6):77-78.

中国光学

1999年第6期

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