光谱仪器

T H744.1 99052901导波声光频谱仪集成光路的研究=Study of integratedoptical circuit of waveguid acousto—opticspectrum analyzer[刊,中]/鲁平(中科院长春物理所.吉林,长春(130021))//发光学报.—1998,19(4).—348—351根据频率分辨率极限和光学分辨率极限,用解析理论的精确公式设计了导波声光频谱仪集成光路,用单点金刚石超精加工和凹面波导制备工艺,研制成Φ12 mm双孔非球面短程透镜型导波声光频谱仪集成光路芯片。实验结果表明,器件集成光路在8