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光学薄膜参数测试

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摘要 O484.5 99042623用喇曼散射光谱估算纳米Ge晶粒平均尺寸=Estimationof crystal—size of nano—Ge by Ramanscattering spectra[刊,中]/王印月,郑树凯,杨映虎,郭永平(兰州大学物理系.甘肃,兰州(730000)),奇莉,甘润今(北京机械工业学院基础部.北京(100085))//光学学报.—1998,18(9).—1265—1268用射频共溅射技术和真空退火方法制备了埋入SiO<sub>2</sub>基底中的纳米Ge复合膜(nc—Ge/SiO<sub>2</sub>。测量了不同温度退火后该复合膜的喇曼散射光谱,其结果与晶体Ge的喇曼谱相比,纳米Ge的喇曼峰位红移峰形变宽;用喇曼谱的参数计算了纳米Ge晶粒的平均尺寸。
出处 《中国光学》 EI CAS 1999年第4期76-76,共1页 Chinese Optics
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