光学元件测试与设备

TH741.3 99042679激光镜镜面粗糙度的干涉测量=Interference measurementsfor roughness of laser mirrors[刊,中]/张耀宁,程祖海(华中理工大学激光技术国家实验室.湖北,武汉(430074))//中国激光.—1999,26(2).—141—144开发了一种激光镜镜面粗糙度的全场、非接触干涉测量方法。测量了两面不同粗糙度的铜镜,测出的数据和用6JA型显微干涉轮廓仪测量的结果相吻合。测量的范围为0.01 μm～0.12 μm,理论上测量的精度可达0.002 μm。它对镜面抛光过程的控制有实际意义。图3参3(赵桂云)TQ171.734 99042680表面疵病的掠射法检测=Measurement of surfaceflaw by grazing incidence[刊,中]/王元庆(安徽机电学院电气工程系.安徽,芜湖(241000))//应用激光.—1998,18(2).