摘要
O484.1 99021110类金刚石膜结构的红外分析=Study of the structureof diamond—like carbon films by FTIRspectroscopy[刊,中]/程宇航,吴一平,陈建国,乔学亮,谢长生(华中理工大学材料科学与工程系.湖北,武汉(430074)),孙育斌(武汉工业大学分析测试中心.湖北,武汉(430070))∥硅酸盐学报.—1998,26(4).—508-512采用直流-射频等离子化学气相沉积方法制备出类金刚石薄膜,用Fourier透射谱和吸收谱对类金刚石的结构进行了研究.
出处
《中国光学》
EI
CAS
1999年第2期60-63,共4页
Chinese Optics
