摘要
TH822 99021154光学摆=On optical pendulum[刊,中]/张开逊(北京机械工业自动化研究所.北京(100011))∥仪器仪表学报.—1998,19(3).—330-332利用光学摆原理可以制造出一种高灵敏度机械振动传感器,利用机械振动过程中二维光栅自由摆产生的光电信号探测,被测对象在三个自由度上相对于惯性系的瞬间位移,分辨度可以达到微米量级.这种传感器可以分辨的最小位移为光学摆所使用的单色光波长的1/2。表1参4(李士范)TP212 99021155新型光电式微位移传感器=New photoelectric sen-
出处
《中国光学》
EI
CAS
1999年第2期67-69,共3页
Chinese Optics
