非光学量测量及设备

TB92 98053411基于偏振位相调制的位相轮廓测量=Polarizationmodulation based phase measurin profilome—try[刊,中]/屠大维(上海大学机电工程学院。上海(200072))∥光学技术。—1997,(6).—27—29,51介绍了一种用来测量三维物体面形的位相轮廓方法,它是通过将正弦光场投影到被测物面,该光场被物体表面调制后发生位相改变,利用偏振位相调制及位相检测算法计算物面的位相分布,再根据几何关系实现对物体三维形貌的测量。