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INVESTIGATION OF SENSITIVITY FOR SILICON MICROMECHANICAL TUNING-FORK GYROSCOPE

INVESTIGATION OF SENSITIVITY FOR SILICON MICROMECHANICAL TUNING FORK GYROSCOPE
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摘要 INVESTIGATIONOFSENSITIVITYFORSILICONMICROMECHANICALTUNING┐FORKGYROSCOPERuanAiwa(阮爱武)1,LiWanyu(李万玉)2,FengPeide(冯培德)31Automatic...
出处 《Chinese Journal of Aeronautics》 SCIE EI CSCD 1998年第1期56-61,共6页 中国航空学报(英文版)
关键词 MICROMECHANICS GYROSCOPES tuning fork gyroscopes quality factor resonant frequencies sensitivity micromechanics, gyroscopes, tuning fork gyroscopes, quality factor, resonant frequencies, sensitivity
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