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激光烧蚀Si表面的等离子体的电子温度与电子密度
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摘要
本文研究在大气中用 Nd:YAG 激光烧蚀固体 Si 表面的等离子体。用光学多道分析仪测量了等离子体的时间分辨发射光谱,用 N(Ⅱ)的两条谱线的相对强度计算了激光等离子体的电子温度,根据 N(Ⅱ)3995谱线的 Stark 展宽计算了等离子体的电子密度。
作者
郭向欣
苗勇
满宝元
王象泰
宋一中
出处
《齐鲁师范学院学报》
1998年第4期1-3,共3页
Journal of Qilu Normal University
基金
国家自然科学基金资助项目
关键词
激光等离子体
电子温度
电子密度
等离子体发射光谱
光谱
STARK
展宽
分类号
O53 [理学—等离子体物理]
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齐鲁师范学院学报
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