薄膜电容式压力传感器

Thin film capacitive pressure transducer

介绍了利用薄膜工艺制作的一种电容式压力传感器。此种传感器除具有高的常态精度外，突出优点是温度和时间稳定性好，寿命长。介绍此种传感器结构和变换电路的设计思路并分析了此产品在航天测试领域中的应用前景。