摘要
一种金刚石薄膜的制造方法,属非金属元素的制备领域。本方法是在基底上涂刷混合于苯、酚、醇等有机溶剂中的巴基管溶液,干燥后将基底放入真空室内,充入碳氢化合物气体（CH<sub>4</sub>或C<sub>2</sub>H<sub>2</sub>）与H<sub>2</sub>的混合气体,加热混合气体及基底,使碳沉积在基底上,合成金刚石薄膜。用本发明方法制造金刚石薄膜生长速度快质量高。
出处
《中国高校科技》
1998年第8期16-19,共4页
China University Science & Technology
