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“微细加工光学技术国家重点实验室”简介

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摘要 “微细加工光学技术国家重点实验室”简介ＡＢｒｉｅｆＩｎｔｒｏｄｕｃｔｉｏｎｔｏｔｈｅＳｔａｔｅＫｅｙＬａｂｏｒａｔｏｒｙｏｆＯｐｔｉｃａｌＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙｆｏｒＭｉｃｒｏｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎ中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室...

出处《光电工程》 CAS CSCD 1997年第S1期2-5,共4页 Opto-Electronic Engineering

关键词微细加工技术国家重点实验室中国科学院光学技术国家科技进步奖实验室建设微机械分步重复投影微光学相移掩模

分类号 TN305 [电子电信—物理电子学]

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光电工程

1997年第S1期

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